سیستمهای الکترومکانیکی mems - چالیک رباتیک
ژیروسکپ mems. ساختار کوچک ژیروسکوپ چیزی شبیه به این است. جرمی که دائماً در حال حرکت است ، یا در حال نوسان است ، و هنگامی که نرخ زاویه خارجی اعمال می شود ، یک قسمت انعطاف پذیر از جرم حرکت می کند و باعث تغییر مکان عمود می شود.